国家知识产权局信息显示，应美盛公司申请一项名为“具有隔膜沟槽加强件的微机电麦克风和制造方法”的专利，公开号CN121040088A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，提供了具有隔膜沟槽加强件的微机电(MEMS)麦克风和制造方法。MEMS麦克风包括柔性板和机械地联接至柔性板的刚性板。MEMS麦克风包括阻止构件，该阻止构件固定至刚性板并且相对于刚性板的与柔性板的表面相对的表面垂直延伸。阻止构件限制柔性板的运动。刚性板包括反向弯曲边缘，该反向弯曲边缘包括第一横向蚀刻停止件，该第一横向蚀刻停止件包括第一拐角半径和第二拐角半径。第一拐角半径大于100纳米，并且第二拐角半径大于25纳米。此外，第一拐角半径与第二拐角半径之间的横向台阶宽度小于约4微米。
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